Electrodeposition of Copper Thin Film on Ruthenium

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2003, Vol.150 (5), p.C347
Hauptverfasser:	Chyan, Oliver, Arunagiri, Tiruchirapalli N., Ponnuswamy, Thomas
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Online-Zugang:	Volltext
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