Effect of SiO[sub 2] Thickness on Dielectric Breakdown Defect Density Due to Surface Crystal-Originated Particles

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2003, Vol.150 (3), p.F42
Hauptverfasser:	Yamabe, Kikuo, Shimada, Yasuhiro, Piao, Min, Yamazaki, Tohru, Otsuki, Tsuyoshi, Takeda, Ryuji, Ohta, Yasumitsu, Jimbo, Susumu, Watanabe, Masaharu
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Online-Zugang:	Volltext
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