Low Temperature Radio-Frequency-Sputtered (Ba, Sr)TiO[sub 3] Films on Pt/TiN/Ti/Si Substrates with Various Oxygen/Argon Mixing Ratios

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2003, Vol.150 (2), p.F20
Hauptverfasser:	Shye, Der-Chi, Chiou, Bi-Shiou, Lai, Ming-Jiunn, Hwang, Chuan-Chou, Jiang, Cheng-Chung, Chen, Jyh-Shin, Cheng, Ming-Hwu, Cheng, Huang-Chung
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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