Thermal oxidation of III-V materials and heterostructures

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of the Electrochemical Society 2002-10, Vol.149 (10), p.G581-G584
Hauptverfasser: HUSSEY, R. J, DRIAD, R, SPROULE, G. I, MOISA, S, FRASER, J. W, WASILEWSKI, Z. R, MCCAFFREY, J. P, LANDHEER, D, GRAHAM, M. J
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0013-4651
1945-7111
DOI:10.1149/1.1506935