Nondestructive observation of depths and dimensions of subsurface microdefects in Czochralski-grown and epitaxial silicon wafers

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Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2002-08, Vol.149 (8), p.G494-G496
Hauptverfasser:	SAITO, Hiroyuki, GOTO, Hiroyuki, ISOGAI, Maki, SHIRAI, Hiroshi, AIBA, Yoshiro
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Defects and impurities in crystals microstructure Exact sciences and technology Experimental determination of defects by diffraction and scattering Physics Structure of solids and liquids crystallography
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