Electrostatic Actuators with Intrinsic Stress Gradient

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2002, Vol.149 (8), p.H146
Hauptverfasser:	Chinthakindi, Anil K., Kohl, Paul A.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!