Electrostatic Actuators with Intrinsic Stress Gradient

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2002, Vol.149 (8), p.H139
Hauptverfasser:	Chinthakindi, Anil K., Bhusari, Dhananjay, Dusch, Brian P., Musolf, Jürgen, Willemsen, Balam A., Prophet, Eric, Roberson, Mark, Kohl, Paul A.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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