On the use and limits of mass spectrometry for the characterization of fluorocarbon emission during plasma processing

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of the Electrochemical Society 2002-05, Vol.149 (5), p.G318-G323
Hauptverfasser: FRACASSI, Francesco, D'AGOSTINO, Riccardo, ILLUZZI, Francesca
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0013-4651
1945-7111
DOI:10.1149/1.1467944