Dielectric properties of zirconium oxide grown by atomic layer deposition from iodide precursor

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2001, Vol.148 (12), p.F227-F232
Hauptverfasser:	KUKLI, Kaupo, FORSGREN, Katarina, RITALA, Mikko, LESKELÄ, Markku, AARIK, Jaan, HARSTA, Anders
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Materials science Methods of deposition of films and coatings film growth and epitaxy Molecular, atomic, ion, and chemical beam epitaxy Physics
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