Excimer laser annealing effect on nickel-induced crystallized polycrystalline silicon film

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2001-10, Vol.148 (10), p.G563-G565
Hauptverfasser:	PARK, Kee-Chan, SONG, In-Hyuk, JEON, Jae-Hong, HAN, Min-Koo
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Materials science Physics Surface treatments
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!