Improvement of long-term stability of thin film gas sensors by ion beam-assisted deposition

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of the Electrochemical Society 2000-11, Vol.147 (11), p.4379-4384
Hauptverfasser: SHIMIZU, Yasuhiro, KARINO, Shinji, TAKAO, Yuji, HYODO, Takeo, BABA, Koumei, EGASHIRA, Makoto
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0013-4651
1945-7111
DOI:10.1149/1.1394073