Low Temperature Chemical Vapor Deposition of ZrO[sub 2] on Si(100) Using Anhydrous Zirconium (IV) Nitrate

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2000, Vol.147 (9), p.3472
Hauptverfasser:	Smith, Ryan C., Hoilien, Noel, Taylor, Charles J., Ma, Tiezhong, Campbell, Stephen A., Roberts, Jeffrey T., Copel, Matthew, Buchanan, D. A., Gribelyuk, Michael, Gladfelter, Wayne L.
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Online-Zugang:	Volltext
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