Low-cost p-/p- epitaxial silicon wafers for densely packed metal-oxide-semiconductor devices

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2000, Vol.147 (5), p.1930-1935
Hauptverfasser:	SHIMIZU, H, SATOH, T, MURANAKA, M, MAKABE, K, MIURA, M
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Miscellaneous Semiconductor devices Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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