Submicron oxidation thickening

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1999-11, Vol.146 (11), p.4256-4258
Hauptverfasser:	JACCODINE, R. J, RAPOSO, H, LI, S, LIU, X. M, WEBER, G. W
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Design. Technologies. Operation analysis. Testing Electronics Exact sciences and technology Integrated circuits Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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