Experimental Study of Si3 N 4 Viscosity for Calibration of Stress‐Dependent Models of Silicon Oxidation

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1999-11, Vol.146 (11), p.4226-4229
Hauptverfasser:	Loiko, Konstantin V., Peidous, Igor V., Zu, Yue, Ho, Hok‐Min
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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