Transmission Electron Microscope Structural Study of Y 2 O 3 Films Grown on Si(111) Substrates by Ultrahigh Vacuum Ionized Cluster Beam

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1999-08, Vol.146 (8), p.3028-3031
Hauptverfasser:	Lee, Dong‐Hun, Seong, Tae‐Yeon, Cho, Man‐Ho, Whang, Chung‐Nam
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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