Bias dependent contrast mechanisms in EBIC images of MOS capacitors

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1999-04, Vol.146 (4), p.1529-1535
Hauptverfasser:	KIRK, H. R, RADZIMSKI, Z, ROMANOWSKI, A, ROZGONYI, G. A
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!