Crystallization of a-Si:H on glass for active layers in thin film transistors : Effects of glass coating

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1999, Vol.146 (1), p.299-305
Hauptverfasser:	WANG, Y. Z, FONASH, S. J, AWADELKARIM, O. O, GU, T
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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