Control of the slope of field oxide edge and its effects on gate oxide reliability

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1999, Vol.146 (1), p.270-275
Hauptverfasser:	JANG, S.-A, KIM, Y.-B, YEO, I.-S, LEG, S.-K
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Testing, measurement, noise and reliability
Online-Zugang:	Volltext
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