Hydrogen Impermeability of TiN Films and Its Dependence on Nitrogen Concentration at High Temperatures

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2001, Vol.148 (1), p.E52
Hauptverfasser:	Nishikiori, Tokujiro, Nohira, Toshiyuki, Ito, Yasuhiko
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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