Silicon Nitride by Using Stain Films on Silicon

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 1967-01, Vol.6 (3), p.408
Hauptverfasser:	Yamazaki, Syunpei, Kato, Yogoro, Taniguchi, Ichirou
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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