Etch Pits Observed in Dislocation-Free Silicon Crystals

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 1966-01, Vol.5 (5), p.458
Hauptverfasser: Abe, Takao, Samizo, Takahide, Maruyama, Shigeru
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.1143/JJAP.5.458