Charge Modeling for Metal Layer on Insulating Substrate
A charging model for magnification variation in the observation of a metal pattern on an insulating substrate using a scanning electron microscope is proposed. To calculate the time evolution of charging, we replace electron trajectory with current. Negative charging of the metal layer is observed a...
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| Veröffentlicht in: | Japanese Journal of Applied Physics 2011-06, Vol.50 (6), p.06GC01-06GC01-6 |
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| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | eng |
| Online-Zugang: | Volltext |
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