Silicon Nitride Nanopillars and Nanocones Formed by Nickel Nanoclusters and Inductively Coupled Plasma Etching for Solar Cell Application

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2009-12, Vol.48 (12), p.126508
Hauptverfasser:	Sahoo, Kartika Chandra, Lin, Men-Ku, Chang, Edward-Yi, Tinh, Tran Binh, Li, Yiming, Huang, Jin-Hua
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!