Modification of Fluorinated Al 2 O 3 Surface by Irradiating H 2 and O 2 Plasmas

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2009-12, Vol.48 (12), p.126002
Hauptverfasser:	Miwa, Kazuhiro, Usami, Kenji, Takada, Noriharu, Sasaki, Koichi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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