A multiple Degrees of Freedom Equivalent Circuit for a Comb-Drive Actuator

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2009-12, Vol.48 (12), p.124504
Hauptverfasser:	Nishimori, Yuuki, Ooiso, Hideta, Mochizuki, Shunsuke, Fujiwara, Nobuyo, Tsuchiya, Toshiyuki, Hashiguchi, Gen
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!