Dependence of Plasma Density on Air Gap Length of Resonant Cavity with Bottom Plate Replaced by High-Density Plasma

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2009-08, Vol.48 (8), p.8
Hauptverfasser:	Kogoshi, Sumio, Yoshioka, Yu, Katayama, Noboru, Kudo, Yusuke
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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