Kinetics of Chemical Changes in Phenol Formaldehyde Based Polymeric Films Etched in N 2 O and O 2 Inductively Coupled Plasmas: A Comparative Study

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2009-08, Vol.48 (8), p.8
Hauptverfasser:	Kwon, Kwang-Ho, Min, Nam-Ki, Kang, Seung-Youl, Baek, Kyu-Ha, Suh, Kyung Soo, Shutov, Dmitriy Alexandrovich
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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