A Micromachined Flexible Hollow Cathode Discharge Device

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2009-06, Vol.48 (6S), p.6
Hauptverfasser:	Kim, Geunyoung, Kim, Kang-il, Yang, Sang Sik, Oh, Soo-ghee
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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