Mold Design and Fabrication for Surface Relief Gratings by Glass Nanoimprint

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2009-06, Vol.48 (6S), p.6
Hauptverfasser:	Mori, Toshiharu, Kimoto, Yoshihisa, Kasa, Haruya, Kintaka, Kenji, Hotou, Norihito, Nishii, Junji, Hirai, Yoshihiko
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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