Kernel Count Reduction in Model Based Optical Proximity Correction Process Models

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2009-06, Vol.48 (6S), p.6
Hauptverfasser:	Li, Jianliang, Li, Xiaohai, Lugg, Robert, Lawrence S. Melvin III, Lawrence S. Melvin III
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!