Microstructure and Electrical Properties of Yb- or Sm-Doped Indium–Tin-Oxide Films Prepared by DC Magnetron Sputtering

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2009-05, Vol.48 (5S2), p.5
Hauptverfasser: Choi, Sung Ryong, Cho, Sang Hyun, Kim, Se Il, Kang, Yong Min, Yoon, Han Ho, Kim, Kwang Ho, Song, Pung Keun
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.1143/JJAP.48.05EC04