Development of Si Neural Probe with Microfluidic Channel Fabricated Using Wafer Direct Bonding

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2009-04, Vol.48 (4S), p.4
Hauptverfasser:	Kanno, Soichiro, Kobayashi, Risato, Sanghoon, Lee, Jicheol, Bea, Fukushima, Takafumi, Sakamoto, Kazuhiro, Katayama, Norihiro, Mushiake, Hajime, Tanaka, Tetsu, Koyanagi, Mitsumasa
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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