Performance and Stability Characterization of Bottom Gated Amorphous Indium Gallium Zinc Oxide Thin Film Transistors Grown by RF and DC Sputtering

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2009-04, Vol.48 (4S), p.4
Hauptverfasser: Park, Sung-Soo, Choi, Won-Ho, Nam, Dong-Ho, Chai, Kwang-il, Jeong, Jae-Kyeong, Lee, Hi-Deok, Lee, Ga-Won
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.1143/JJAP.48.04C134