Raman Spectrum Curve Fitting for Estimating Surface Stress Distribution in Single-Crystal Silicon Microstructure

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2009-04, Vol.48 (4S), p.4
Hauptverfasser:	Komatsubara, Mamoru, Namazu, Takahiro, Nagai, Yuji, Inoue, Shozo, Naka, Nobuyuki, Kashiwagi, Shinsuke, Ohtsuki, Kunio
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!