New Method to Obtain (001) Surface-Oriented Polycrystalline Silicon Films by Intensity-Modulated Excimer Laser Annealing: Molecular Dynamics Study

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2009-03, Vol.48 (3S2), p.3
Hauptverfasser:	Matsubara, Norie, Ogata, Tomohiko, Mitani, Takanori, Munetoh, Shinji, Motooka, Teruaki
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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