Nanoscale and Spatial Variations Investigation of Etch Damage in Integrated Ferroelectric Capacitor Side Wall by Piezoresponse Force Microscopy

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2009-01, Vol.48 (1R), p.11401
Hauptverfasser:	Wang, Longhai, Dai, Ying, Deng, Zhao
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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