Mechanical Properties and Chemical Reactions at the Directly Bonded Si–Si Interface

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2009-01, Vol.48 (1R), p.11202
Hauptverfasser:	Toyoda, Eiji, Sakai, Akira, Isogai, Hiromichi, Senda, Takeshi, Izunome, Koji, Nakatsuka, Osamu, Ogawa, Masaki, Zaima, Shigeaki
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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