Study on Surface Modification of Indium Tin Oxide and Resist Surfaces Using CF 4 /O 2 Plasma for Manufacturing Organic Light-Emitting Diodes by Inkjet Printing

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2008-12, Vol.47 (12R), p.8935
Hauptverfasser: Ikagawa, Masakuni, Tohno, Ichiro, Shinmura, Tadashi, Takagi, Shigeyuki, Kataoka, Yoshinori, Fujihira, Masamichi
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.1143/JJAP.47.8935