Fabrication and Basic Characterization of a Piezoelectric Valveless Micro Jet Pump

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2008-11, Vol.47 (11R), p.8615
Hauptverfasser: Tanaka, Katsuhiko, Dau, Van Thanh, Sakamoto, Ryohei, Dinh, Thien Xuan, Dao, Dzung Viet, Sugiyama, Susumu
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.1143/JJAP.47.8615