Smooth and Narrow Nanopillars Fabricated by Ion-Beam-Induced Deposition under Charging Conditions

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2008-10, Vol.47 (10R), p.8120
Hauptverfasser:	Chen, Ping, Salemink, Huub W. M., Alkemade, Paul F. A.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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