Optical and Electrical Properties of Organic Films Prepared by RF Plasma Chemical Vapor Deposition Using Mixed Naphthalene and Propane Source

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2008-01, Vol.47 (1S), p.794
Hauptverfasser: Ibrahim, Tengku Nadzlin Bin Tengku, Tanaka, Kunihiko, Uchiki, Hisao
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.1143/JJAP.47.794