Reliable Characterization of Microcrystalline Silicon Films for Thin Film Transistor Applications

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2008-09, Vol.47 (9R), p.7308
Hauptverfasser:	Abramov, Alexey, Cabarrocas, Pere Roca i, Girotra, Kunal, Chen, Hong, Park, Seungkyu, Park, Kyongtae, Huh, Jong-moo, Choi, Joonhoo, Kim, Chiwoo, Souk, Jun H.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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