Investigation of Surface Layer Formation for Fluorinated Carbon Film Using Fourier Transform Infrared Spectrometry Analysis

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2008-08, Vol.47 (8R), p.6422
Hauptverfasser:	Seong, Mi-Ryn, Lee, Gye-Young, Cho, Si-Hyeong, Lim, Hyun-Woo, Park, Jin-Goo, Lee, Caroline Sunyong
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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