Frictional Characterization of Chemical–Mechanical Polishing Pad Surface and Diamond Conditioner Wear

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2008-08, Vol.47 (8R), p.6282
Hauptverfasser:	Yamada, Yohei, Kawakubo, Masanori, Hirai, Osamu, Konishi, Nobuhiro, Kurokawa, Syuhei, Doi, Toshiro
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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