Nanometer-Scale Manipulation and Ultrasonic Cutting Using an Atomic Force Microscope Controlled by a Haptic Device as a Human Interface

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2008-07, Vol.47 (7S2), p.6181
Hauptverfasser:	Iwata, Futoshi, Ohara, Kouhei, Ishizu, Yuichi, Sasaki, Akira, Aoyama, Hisayuki, Ushiki, Tatsuo
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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