Characterization of Al-Based Insulating Films Fabricated by Physical Vapor Deposition

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2008-01, Vol.47 (1S), p.609
Hauptverfasser:	Nakakuki, Masahide, Shiono, Akihiro, Kobayashi, Isao, Tajima, Noriaki, Yamakami, Tomohiko, Hayashibe, Rinpei, Abe, Katsuya, Kamimura, Kiichi, Obata, Motoki, Miyamoto, Mitsunori
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!