Numerical Simulations and Experiments about Contamination Mechanism of Solid Immersion Lens System Concerning Hole and Geometries of Lens Holder

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2008-07, Vol.47 (7S1), p.5800
Hauptverfasser:	Choi, Moon-Ho, Yang, Tae-Man, Rhim, Yoon-Chul, Seo, Jeong-Kyo, Choi, In-Ho, Min, Byung-Hoon
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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