Fabrication of Volcano-Structured Double-Gate Field Emitter Array by Etch-Back Technique

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2008-06, Vol.47 (6S), p.5252
Hauptverfasser:	Soda, Takashi, Nagao, Masayoshi, Yasumuro, Chiaki, Kanemaru, Seigo, Sakai, Toshikatsu, Saito, Nobuo, Neo, Yoichiro, Aoki, Toru, Mimura, Hidenori
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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