Fabrication of Nanostencil by Size Reduction of Microaperture by Additional Deposition

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2008-06, Vol.47 (6S), p.5042
Hauptverfasser:	Lee, Jun Seok, Park, Won Bae, Park, Cheol Woo, Hwang, Chang Soon, Kim, Gyu Man
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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